| 題名: | 光學多層薄膜SiO2(Ge/SiO2)^11沉積在不同基板之熱應力量測 |
| 作者: | 田春林 |
| 作者群: | 白鴻慶、田春林*、林泓逸、褚宇晨 |
| 系所/單位: | 電機工程學系 |
| 期刊名/會議名稱: | 2019台灣真空學會(TVS)研討會 |
| 會議地點 : | 交通大學 |
| 會議舉行國家 : | 臺灣 |
| 日期: | 11-01-19 |
| 會議資料 : | 摘要集 |
| 學年度: | 108 |
| 分類: | 會議論文 |
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| 檔案 | 大小 | 格式 | |
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| C108312CE110084_001.pdf Restricted Access | 273.63 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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