| 題名: | Measurement of Surface Contour of Large Substrate Using Fringe Reflectometry and Subaperture Stitching |
| 作者: | 田春林 |
| 作者群: | Hong-Yi Lin、Chuen-Lin Tien*、Yu-Chen Chu |
| 系所/單位: | 電機工程學系 |
| 期刊名/會議名稱: | Optics & Photonics Taiwan, International Conference (OPTIC 2019) |
| 會議地點 : | 中興大學 |
| 會議舉行國家 : | 臺灣 |
| 日期: | 12-05-19 |
| 會議資料 : | 摘要集 |
| 學年度: | 108 |
| 分類: | 會議論文 |
文件中的檔案：
| 檔案 | 大小 | 格式 | |
|---|---|---|---|
| C108312CE110087_001.pdf Restricted Access | 254.4 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
在 DSpace 系統中的文件，除了特別指名其著作權條款之外，均受到著作權保護，並且保留所有的權利。