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dc.contributor.author林成利
dc.contributor.otherCheng-Li Lin*、Tse-Jui Tseng、Yao-Jen Lee、Pi-Chun Juan、Tsung-Kuei Kang
dc.date108
dc.date.accessioned2020-06-15T03:15:53Z-
dc.date.available2020-06-15T03:15:53Z-
dc.date.issued10-24-19
dc.identifier.urihttp://dspace.fcu.edu.tw/handle/2376/1496-
dc.relation.ispartofseries2019 Int. Electron Devices and Materials Symposium (IEDMS)
dc.relation.isversionofC4-1 (Oral)
dc.titleCapacitance-Voltage (C-V) Characteristics of Ferroelectric HfZrO2 Film Deposited on N+/P-Substrate with Microwave Thermal Annealing
dc.contributor.department電子工程學系
dc.identifier.AccessionNumber0014
teacher.countryTaiwan
teacher.locationFour Points by Sheraton, Taoyuan Airport MRT A9 Linkou Station
teacher.media論文集+CD
teacher.international國際性
teacher.type會議論文
分類:會議論文

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