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逢甲大學校園典藏知識庫
Feng Chia University Institutional Repository
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3. 優質學生報告
資訊電機學院
資電098學年度
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符合的文件:
題名
作者
日期
氮氣熱退火處理對矽氧化鉿高介電質可靠度之研究
賴逸修
2010-06-12T18:09:01Z
探索
關鍵字
1
breakdown mechanism
1
Nitrided Hafnium Silicate (HfSiON)
1
Silicon Dioxide (SiO2)
1
time dependent dielectric breakdo...
1
依時性介電層崩潰
1
可靠度分析
1
崩潰機制
1
矽氧化鉿
日期
1
2010
提供全文
1
true