題名: | Roll-to-roll gas flow sputter deposited copper |
作者: | 何主亮 |
作者群: | C.M. Chen、S.Y. Chen、Y.H. Chen、P.Y. Hsieh、T.H. Chen、K.B. Cheng、J.L. He |
系所/單位: | 材料科學與工程學系 |
期刊名/會議名稱: | 10th International Conference on Fundamentals and Industrial Applications of HIPIMS 2019 |
會議地點 : | Fraunhofer IST |
會議舉行國家 : | Germany |
日期: | 06-19-19 |
會議資料 : | 論文集 |
學年度: | 108 |
分類: | 會議論文 |
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