題名: | 半導體以隧道為基礎的即時圖形監控系統 |
其他題名: | Tunnel-Based Real Time Display System in Semiconductor Manufacturing |
作者: | 陸承志 林家德 |
關鍵字: | 單元控制器 計算機整合製造 製造執行系統 細部排班調度系統 機台控制系統 物料後勤支援系統 |
期刊名/會議名稱: | 1997 NCS會議 |
摘要: | 以隧道為基礎的即時圖形監控系統旨在以圖形化的使用者介面,即時的反應一個隧道內所有機台及正在該隧道內處理之物料的現況,並蒐集記錄機台運作過程中所發生的事件。 |
日期: | 2006-10-25T01:00:09Z |
分類: | 1997年 NCS 全國計算機會議 |
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