利用田口累積分析法提高液晶顯示器電漿清洗製程之潔淨度

Abstract

液晶顯示器具有省電、重量輕、無輻射及可攜帶等優點，已逐漸取代傳統的顯示元件，更被廣泛的應用於汽車導航系統、筆記型電腦、攝錄影機等產品中。目前液晶顯示器產品也朝向微小間距的製程發展，而在液晶顯示器端子上殘留的有機物質往往造成產品的不良，所以液晶顯示器端子上的潔淨度更可說是決定良率的重要關鍵因素，目前業界常使用電漿清洗機進行清洗的製程來提高產品良率，而電漿清洗機的參數最佳化已成為非常值得研究的課題，本文使用L4 直交表針對三個兩水準的控制因子進行實驗並以田口方法中的計數型累積分析法進行分析，以提高液晶顯示器上端子的潔淨度，結果顯示新的參數水準大幅地提高液晶顯示器上端子的潔淨度。