數位相移干涉術

Abstract

本實驗為探討數位相移干涉術，其架構為Mach–Zehnder干涉儀。藉由在參考臂添加設計好的相位，我們可由物體的干涉訊號，經過一些訊號處理，解調出樣品應有的輪廓資訊。因此如何穩定地提供相位變化，就會影響解調出的結果。而本實驗以較簡單的方法來添加相位：旋轉載波片。當我們旋轉載波片時，光所經過的光程會有所改變，進而達到相移結果。但載波片內部勻稱性及表面灰塵，對相移穩定性影響很大，以實驗結果來看，相近的條件之下，每回的相移量皆有所誤差，因此我們一回拍攝50張干涉條紋，在重多數據中尋找想要的相移角度，以此得到較好的解調結果。

In our experiment, phase shifting is achieved by rotating a slide. We discuss digital phase-shifting interferometer with experimental demonstration. The experiment setup is a Mach–Zehnder interferometer. By shifting the phase of the reference light twice, we can get three interferograms and demodulating the profile of object.