1. Feng Chia University Institutional Repository
  2. 3. 優質學生報告
  3. 資訊電機學院
  4. 資電093學年度
完整後設資料紀錄
DC 欄位值語言
dc.contributor.author許宏輝
dc.date93學年度
dc.date第二學期
dc.date.accessioned2009-06-03T03:17:49Z
dc.date.accessioned2020-05-22T08:30:05Z-
dc.date.available2009-06-03T03:17:49Z
dc.date.available2020-05-22T08:30:05Z-
dc.date.issued2007-11-06T02:01:47Z
dc.identifier.otherd9156839
dc.identifier.urihttp://dspace.lib.fcu.edu.tw/handle/2377/477-
dc.description.tableofcontents摘要....................................................................................................................................1 圖檔目錄.............................................................................................................................3 表目錄................................................................................................................................4 第一章 緒論......................................................................................................................5 1-1 研究動機........................................................................................................5 1-2 研究目的.........................................................................................................5 第二章 薄膜量測技術......................................................................................................7 2-1 Michelson干涉儀原理.................................................................................7 2-1-1 Michelson 干涉實驗架構..............................................................10 2-1-2 膜厚測量..........................................................................................12 2-2 Fizeau 干涉原理[7]....................................................................................13 2-2-1 Fizeau 干涉實驗架構.....................................................................13 2-2-2 膜厚測量..........................................................................................14 2-3橢圓偏振術(Ellipsometry)........................................................................15 2-3-1 原理..................................................................................................15 第三章 應用....................................................................................................................21 第四章 結論....................................................................................................................23 參考文獻...........................................................................................................................25
dc.format.extent27
dc.format.extent524143 bytes
dc.format.extent1832 bytes
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypetext/plain
dc.language中文
dc.language.isozh_TW
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dc.subject干涉儀
dc.subject橢圓偏振儀
dc.subject薄膜厚度量測
dc.title光學薄膜厚度量測技術之研究
dc.type大學生學期報告
dc.description.course薄膜光學
dc.contributor.department電機工程學系,資訊電機學院
dc.description.instructor田春林
dc.description.programme資訊電機學院
dc.description.programme電機與通訊工程研究所
分類:資電093學年度

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