金屬氧化膜熱傳導係數量測之研究

Abstract

本專題研究報告提出一種改良式的金屬氧化膜熱傳導係數之量測方法，此方法結合自製的薄膜熱傳導量測儀及修定過的熱傳導理論，量測薄膜熱傳導係數。量測的結果顯示，氧化矽(SiO2)、氧化鈦(TiO2)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鉭(Ta2O5)及氧化鈮(Nb2O5)等金屬氧化膜的熱傳導係數，其值分別為0.45(W/mK)、0.59(W/mK)、0.38(W/mK)、0.47(W/mK)、0.69(W/mK)，最後將量測數據與相關文獻資料作比較，其誤差值在10%以內。 本專題研究已成功地研發一套薄膜熱傳導係數量測系統，其優點為非破壞性的量測、價格便宜、操作簡便、量測速度快。尤其是系統改善了因接觸面不穩定所造成的誤差，進而提升了量測系統之靈敏度與精確度，這對於金屬氧化膜熱傳導性質的研究上，是極為有用的。