完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 曾宏達 | |
| dc.date | 98學年度第2學期 | |
| dc.date.accessioned | 2010-07-05T14:03:27Z | |
| dc.date.accessioned | 2020-05-29T08:36:59Z | - |
| dc.date.available | 2010-07-05T14:03:27Z | |
| dc.date.available | 2020-05-29T08:36:59Z | - |
| dc.date.issued | 2010-07-05T14:03:27Z | |
| dc.date.submitted | 2010-06-30 | |
| dc.identifier.other | M9800491 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.fcu.edu.tw/handle/2377/715 | - |
| dc.description.abstract | 以兩步驟的蒙特卡羅法(Monte Carlo Method)，模擬低能量物理氣相沉積(PVD)下的原子，可發展為物理氣相沉積鎳薄膜的二維模型，此近似方法由初始原子撞擊基板並吸附至表面，經多路徑原子擴散，可模擬分析後來表面輪廓與內部原子結構的演進。此方法使用原子嵌入模型(EAM)，可有效測定多個原子擴散路徑的活化能，可用於預測鎳薄膜實際沉積過程中，長度與時間尺度上輪廓/結構的演進，且此建模方式可評估蒸鍍的製程參數影響，例如蒸鍍通量的方向、沉積速率與基板溫度，且由此沉積的形貌/微結構，可用以定義其堆積密度，表面粗糙度與柱狀生長的寬度(近似相關於晶粒的大小)。此模擬結果比對Movchan Demchishin的經驗結構區塊模型(SZM)，可作為有效預測薄膜結構演進的模型。 | |
| dc.description.tableofcontents | 第一章 緒論 1 1-1研究動機 1 1-2 研究目的 1 1-3 研究方法 2 第二章 基本原理 3 2-1原子吸附合倂 3 2-2 原子擴散模型 4 2-2-1 活化的擴散過程 4 2-2-2 計算原子跳躍的活化能 7 2-3 結構區塊模型 (Structure Zone Model) 8 第三章 結果與討論 10 3-1 動量系統原子結構 10 3-2 微結構/微輪廓上的溫度效應 12 3-2-1結構配置、堆積密度與表面粗糙度 12 3-2-2比對模擬與實驗的柱狀晶粒大小 16 3-3微觀結構沉積速率的效應 17 3-4討論 19 第四章 結論 22 圖目錄 圖2- 1 Henderson模型與動量系統示意圖 3 圖2- 2 原子跳躍路徑示意圖 4 圖2- 3 結構區塊模型(SZM) 9 圖3- 1 Henderson模型與動量系統結構示意圖 11 圖3- 2 Henderson模型與動量系統模擬比對圖 11 圖3- 3 固定沉積速率，不同沉積溫度的結構配置圖 13 圖3- 4 堆積密度與沉積溫度的相關曲線圖 14 圖3- 5 表面粗糙度與沉積溫度的相關曲線圖 15 圖3- 6 平均的柱狀晶粒大小與沉積溫度相關曲線圖 16 圖3- 7 不同金屬晶粒大小與沉積溫度的相關曲線圖 17 圖3- 8 固定沉積溫度，不同沉積速率下的結構配置圖 18 圖3- 9 沉積速率與物理、機械特性的變化關係 19 表目錄 表2- 1 計算二維EAM鎳原子跳躍的活化能模型 7 | |
| dc.format.extent | 30p | |
| dc.language.iso | zh | |
| dc.rights | openbrowse | |
| dc.subject | 蒙特卡羅法 | |
| dc.subject | 物理氣相沉積 | |
| dc.subject | 結構區塊模型( | |
| dc.title | 鎳薄膜物理氣相沉積的蒙特卡羅模擬 | |
| dc.type | gradreport | |
| dc.description.course | 薄膜技術 | |
| dc.contributor.department | 電機工程研究所,資訊電機學院 | |
| dc.description.instructor | 田春林 | |
| dc.description.programme | 電機工程研究所光電組,資訊電機學院 | |
| 分類: | 資電098學年度 | |
文件中的檔案：
| 檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
|---|---|---|---|---|
| M9800491-98201.pdf | 571.56 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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