題名: 光學薄膜表面特性量測方法之研究
作者: 呂侑儒
關鍵字: 光學薄膜
表面檢測
小波轉換
灰階共生矩陣
細線化
系所/單位: 產業研發碩士在職專班,資訊電機學院
摘要: 在光電產業快速發展之際,製鍍高品質光學薄膜可以有效提升光學系統性能,而薄膜表面的檢測為製鍍高品質光學薄膜之重要參考依據。因此,本研究提出一套自行研發之光學薄膜表面量測系統,此系統以Twyman-Green干涉儀為其架構並結合自行設計的軟體程式,利用小波轉換將擷取之影像分高、低頻呈現,並搭配灰階共生矩陣(GLCM)與熵值(entropy)運算,以快速測定薄膜表面平坦度之良窳。此外,利用自行設計的軟體分析處理干涉圖,進而可量測薄膜厚度。通常厚度之量測須運用干涉儀及精密判讀干涉條紋的位移量來達成,否則將造成量測上的誤差,因此,為了提升干涉式膜厚量測之精確度,我們利用Wiener濾波器有效地濾除雜訊,並且經由干涉圖形之細線化,可使程式精確地自動判別條紋之間距與條紋位移量,達成量測薄膜厚度之目的。
日期: 2007-11-06T02:03:05Z
學年度: 94學年度
第一學期
開課老師: 田春林
課程名稱: 物理光學
系所: 資訊電機學院
資訊電機碩士在職專班
分類:資電094學年度

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